分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
復(fù)合式分子泵由螺紋分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，也具有牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應(yīng)用范圍。其廣泛應(yīng)用與光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、激光、電子、軍工、汽車等各個領(lǐng)域。
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
復(fù)合式分子泵由螺紋分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，也具有牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應(yīng)用范圍。其廣泛應(yīng)用與光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、激光、電子、軍工、汽車等各個領(lǐng)域。
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