本系列是由無(wú)油爪泵和無(wú)油分子真空泵串聯(lián)而成，結(jié)合了兩種泵的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)緊湊,運(yùn)行可靠。本單位是國(guó)內(nèi)唯一家具有干式分子泵機(jī)組的廠家。由于分子泵啟動(dòng)條件比較嚴(yán)格，對(duì)前級(jí)泵的極限真空度要求比較苛刻，必須在干泵真空度抽到<10Pa后，分子泵才可以啟動(dòng)，這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于:真空實(shí)驗(yàn)室等特殊無(wú)油高空度環(huán)境。用無(wú)油爪泵做前級(jí)泵，對(duì)被抽環(huán)境無(wú)污染,無(wú)返油,維護(hù)周期長(zhǎng),且能維持長(zhǎng)期穩(wěn)定的極限壓力。

干式分子機(jī)組ZYFJ技術(shù)參數(shù)表：